淨化(huà)工程
淨化(huà)工程的(de)定義:将一定空間範圍内之空氣中的(de)微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物(wù)排除,并将室内之溫濕度、潔淨度、室内壓力、氣流速度與氣流分(fēn)布、噪音(yīn)震動及照(zhào)明(míng)、靜電控制在某一需求範圍内,而所給于特别設計之密閉空間。
淨化(huà)工程亦名無塵室或清淨室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光(guāng)學制造、線路闆制造和(hé)生物(wù)化(huà)學、醫藥、食品制造等行業不可(kě)或缺的(de)重要設施。近幾年來(lái),由于技術之創新發展,對(duì)于産品的(de)高(gāo)精密度化(huà)、細小型化(huà)之需求更爲迫切,如超大(dà)型積體電路之研究制造,已成爲世界各國在科技發展上極爲重視的(de)項目,而我公司的(de)設計理(lǐ)念及施工技術在行業中則處于領先地位。
淨化(huà)工程的(de)結構材料:
1、 潔淨生産區(qū)
2、 潔淨輔助間(包括人(rén)員(yuán)淨化(huà)用(yòng)房(fáng)、物(wù)料淨化(huà)用(yòng)室和(hé)部分(fēn)生活用(yòng)室等)
3、 管理(lǐ)區(qū)(包括辦公、值班、管理(lǐ)和(hé)休息等)
4、 設備區(qū)(包括淨化(huà)空調系統應用(yòng)、電氣用(yòng)房(fáng)、高(gāo)純水(shuǐ)和(hé)高(gāo)純氣用(yòng)房(fáng)、冷(lěng)熱(rè)設備用(yòng)房(fáng))
淨化(huà)工程淨化(huà)原理(lǐ)
氣流→初效淨化(huà)→空調→中效淨化(huà)→風機送風→管道→高(gāo)效淨化(huà)風口→吹入房(fáng)間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗(chuāng)→初效淨化(huà) 重複以上過程,即可(kě)達到淨化(huà)目的(de)。
淨化(huà)工程淨化(huà)參數
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對(duì)相鄰房(fáng)間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右爲宜;電子車間濕度略高(gāo)以免産生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的(de)10%-30%;照(zhào)度300LX。
淨化(huà)工程結構材料
1. 淨化(huà)廠房(fáng)牆、頂闆材一般多(duō)采用(yòng)50mm厚的(de)夾芯彩鋼闆制造,其特點爲美(měi)觀、剛性強。圓弧牆 角、門、窗(chuāng)框等一般采用(yòng)專用(yòng)氧化(huà)鋁型材制造。
2.地面可(kě)采用(yòng)環氧自流坪地坪或高(gāo)級耐磨塑料地闆,有防靜電要求的(de),可(kě)選用(yòng)防靜電型。
3.送回風管道用(yòng)熱(rè)渡鋅闆制成,貼淨化(huà)保溫效果好的(de)阻燃型PF發泡塑膠闆。
4.高(gāo)效送風口用(yòng)不鏽鋼框架,美(měi)觀清潔,沖孔網闆用(yòng)烤漆鋁闆,不生鏽不粘塵,宜清潔。
淨化(huà)工程解決方案:
淨化(huà)工程的(de)設計過程中,應加強對(duì)光(guāng)學微電子行業淨化(huà)工程設計方案分(fēn)析了(le)解,根據該工程是新建工程或者是舊(jiù)廠房(fáng)改造工程,并結合其具體的(de)生産工藝、生産流程等要求确定其需要的(de)潔淨度、溫濕度。再根據該工程的(de)具體情況,同時(shí)還(hái)要考慮到生産廠家的(de)經濟承受能力,綜合各種因素來(lái)确定采用(yòng)何種淨化(huà)方案,這(zhè)樣才可(kě)設計出一個(gè)能滿足甲方生産使用(yòng)要求、工程造價合理(lǐ)、經濟節能實用(yòng)的(de)方案。
1、組合式空氣處理(lǐ)機組+冷(lěng)水(shuǐ)機組+高(gāo)效送風口
這(zhè)是一個(gè)最傳統的(de)淨化(huà)空調系統的(de)設計方案。組合式空氣處理(lǐ)機組裏含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷(lěng)段、二次回風段(或中間段)、加熱(rè)段、加濕段、中效過濾段、風機段等。其冷(lěng)源由冷(lěng)水(shuǐ)機組提供。
淨化(huà)工程優點:
A.空氣處理(lǐ)效果好,因空氣經過集中處理(lǐ),在送風過程中被污染程度較低。送風的(de)溫度、濕度的(de)控制比較精确;
B.比較适用(yòng)于有集中冷(lěng)源的(de)或是較大(dà)的(de)廠房(fáng);
C.空調冷(lěng)熱(rè)源可(kě)與廠房(fáng)普通(tōng)空調系統合用(yòng)或獨立冷(lěng)熱(rè)源;
D.維修頻(pín)率較低;
E.車間的(de)噪音(yīn)低。
淨化(huà)工程缺點:
A.需要有配套的(de)冷(lěng)凍機房(fáng)或有放置熱(rè)泵機組的(de)室外空間。另需要有放置組合式空氣處理(lǐ)機組的(de)空調機房(fáng),如25000m3/h的(de)組合式空氣處理(lǐ)機組,常用(yòng)外形尺寸爲6450×1850×2250mm左右。對(duì)于舊(jiù)廠房(fáng)改造項目來(lái)說比較困難空出一個(gè)20-30┫的(de)機房(fáng)的(de);
B.造價高(gāo)。
淨化(huà)工程特點:
A.建議(yì)新風經過集中處理(lǐ)後再與回風混合,這(zhè)樣可(kě)以減少表冷(lěng)段的(de)冷(lěng)處理(lǐ)負擔;
C.這(zhè)類方案一般可(kě)以适用(yòng)潔淨度較高(gāo)的(de)如百級、千級或萬級、十萬級等較低的(de)淨化(huà)無塵廠房(fáng)。
2、光(guāng)學微電子行業淨化(huà)工程設計方案分(fēn)析之水(shuǐ)冷(lěng)櫃機+增壓風櫃+高(gāo)效送風口
與前種方案比較,這(zhè)是相對(duì)比較簡單的(de)空調方案。它可(kě)以大(dà)大(dà)地縮小機房(fáng)的(de)面積,水(shuǐ)冷(lěng)櫃機可(kě)以根據具體的(de)情況布置于較小機房(fáng)内或淨化(huà)車間内,增壓風櫃也(yě)可(kě)以布置于機房(fáng)内或吊在機房(fáng)内或在夾層内。
優點:
A.空氣處理(lǐ)效果較好的(de),處理(lǐ)過後的(de)空氣在送風過程中被污染程度低。送風的(de)溫度、濕度控制效果可(kě)以達到較好的(de)控制。主要在空氣處理(lǐ)機組(增壓風櫃)裏進行控制;
B.布置靈活。自帶冷(lěng)源;
C.大(dà)小廠房(fáng)、新舊(jiù)廠房(fáng)都适用(yòng);
D.維修頻(pín)率較低;
E.車間噪音(yīn)低。
缺點:
A.需要小面積的(de)機房(fáng)。需要有冷(lěng)卻塔、冷(lěng)卻水(shuǐ)泵的(de)擺放位置;
B.空調機組與空調處理(lǐ)機組要集中布置;
C.造價較低。特點:這(zhè)種方案可(kě)以是一次回風也(yě)可(kě)以是二次回風,具體根據車間的(de)大(dà)小情況而定;這(zhè)類方案一般可(kě)以适用(yòng)于潔淨度爲千級、萬級、十萬級等的(de)淨化(huà)無塵廠房(fáng)。
3、光(guāng)學微電子行業淨化(huà)工程設計方案分(fēn)析之分(fēn)體空調櫃機++FFU送風口
這(zhè)是最簡易的(de)一個(gè)空調方案。是直接将分(fēn)體空調櫃機布置于車間内,并用(yòng)彩鋼圍護起來(lái),在櫃機回風口處再在彩鋼闆上開回風口(帶初效過濾網);KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這(zhè)個(gè)方案适用(yòng)于對(duì)室内溫濕度精度要求不高(gāo)的(de)無塵車間。
優點:
A.不需要占用(yòng)機房(fáng)面積,布置很靈活的(de);
B.可(kě)以滿足空氣的(de)潔淨度;
C.造價最低。如此類無塵車間初投資約需要40萬;
D.送風均勻度好。
缺點:
A.溫濕度控制較差;
B.可(kě)以滿足空氣的(de)潔淨度;
C.FFU的(de)維修頻(pín)率高(gāo)。
4、光(guāng)學微電子行業淨化(huà)工程設計方案分(fēn)析之無塵車間的(de)特點
A、無塵車間的(de)潔淨度:
LCD制屏的(de)簡略流程爲:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物(wù)→組合→劃線和(hé)切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
在本設計裏是指末端工藝的(de)一些無塵車間,其淨化(huà)潔淨度一般爲千級或萬級或十萬級。背光(guāng)屏類無塵車間主要是這(zhè)類産品的(de)沖壓車間、組裝等無塵車間,其潔淨度一般爲萬級或十萬級。
B、室内空氣參數要求 :
(1)溫濕度要求:溫度一般爲24+2℃,相對(duì)濕度爲55+5%。
(2)新風量大(dà)。由于這(zhè)類車間内,人(rén)員(yuán)比較多(duō),可(kě)以根據以下(xià)數值應取下(xià)列的(de)最大(dà)值:非單向流潔淨室總送風量的(de)10-30%;補償室内排風和(hé)保持室内正壓值所需的(de)新鮮空氣量;保證室内每人(rén)每小時(shí)的(de)新鮮 空氣量≥40m3/h。
(3)送風量大(dà)。爲了(le)滿足潔淨室内的(de)潔淨度及熱(rè)濕平衡,需要較大(dà)的(de)送風量,就300平方米的(de)車間,吊頂高(gāo)度爲2.5米的(de),如果是萬級,送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的(de)送風量(換氣次數,是≥25次/h);如果是十萬級,送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的(de)送風量(換氣次數,是≥15次/h)。
淨化(huà)工程設計方案分(fēn)析對(duì)于常規電子廠房(fáng)潔淨室空調的(de)設計,應根據電子廠房(fáng)的(de)生産工藝要求及甲方的(de)經濟條件來(lái)選用(yòng)哪種空調設計方案,以滿足生産工藝的(de)要求作爲前提。根據以往經驗,對(duì)于要求高(gāo)的(de)可(kě)以選用(yòng)組合式空氣處理(lǐ)機組集中處理(lǐ)的(de)空調方案;對(duì)于要求不高(gāo)的(de),又要初投資低的(de),可(kě)以選用(yòng)櫃機+FFU。總之,具體的(de)方案選擇根據具體情況而定。